| 氮?dú)?/strong> 通常用于冷卻及清除程序，氮?dú)庠陔娮蛹鞍雽?dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)中不可或缺。 |
氬氣 具有高穩(wěn)定性及極低的反應(yīng)性，氬氣是太陽(yáng)能及半導(dǎo)體薄片生產(chǎn)中的關(guān)鍵氣體。 |
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| 氫氣 許多電子制造商均使用氫氣，氫氣可作為薄膜沉積的載運(yùn)氣體以及爐處理中的還原劑。 |
氦氣 氦氣在平板顯示器市場(chǎng)起著重要作用，可用作冷卻劑，同時(shí)也是半導(dǎo)體設(shè)備制造所需受控環(huán)境中的重要組成部分。 |
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| 二氧化碳 高純度二氧化碳有助于清洗應(yīng)用中超小顆粒的清除，在關(guān)鍵半導(dǎo)體層的干燥中，可以防止光刻膠的崩潰。 |
氨氣 在氮基薄膜以及外延晶體的發(fā)展中，氨氣是最常見的氮前體。其超高純度的特性對(duì)發(fā)光二極管行業(yè)中外延晶體的應(yīng)用非常關(guān)鍵。 |
